Opt-measure

Opt-measure

高精度、大温度範圍、設計精密的感測器測頭。
系採用了白光/干涉法的非接触位移感測器。

採用新光源／新干涉法。由於利用來自粗糙面的漫射光進行測量，因而無需鏡子或三角稜鏡。可透過直接反射進行測量。

標準裝備有 16 ch 的感測器。感測器與控制器間的線纜最多可延長至 1,000 m。最適合於用來測量實驗裝置的多點的位移。

透過採用新干涉法，實現直線性： ± 1 μm，重複精度　(2 σ )：0.1 μm。

透過温度穩定化光學機組來抑制温度漂移。在 20 〜 30 ℃ 的現場環境下實現高精度。
± 0.9 μm @ 25 ± 5 ℃

透過完全不含任何電子零件的極小感測器工作頭，即使在放射線環境下或強磁場、電磁雜訊環境下也可進行穩定的測量。